多靶溅射
多靶溅射
负责人员
李沐
存放地址
主校区-知行楼(新校区能动学院)-A区1007
联系电话
15022003965
仪器编号
2024CBA5
规格
C24-0353-A
生产厂家
大连齐维科技发展有限公司
型号
C24-0353-A
制造国家
中国
分类号
0306030201
出厂日期
2024-10-25
购置日期
2024-10-08
入网日期
2024-10-25
主要规格及技术指标

极限真空 10-6Pa,温控范围为室温至800摄氏度,电源功率1000W

主要功能及特色

支持同时安装多个靶材(如金属、氧化物、氮化物等),实现单层或多层薄膜的高效沉积。支持射频(RF)和直流(DC)溅射模式,适应不同材料需求。磁控溅射速率快,薄膜均匀性好,附着力强。真空系统与高纯靶材结合,减少杂质污染,薄膜性能优异。

主要附件及配置

暂无关联门禁
暂无收费信息