磁控溅射仪
磁控溅射仪
负责人员
王译
存放地址
主校区-厚坤楼（机械1号楼）-A108
联系电话
13591350249
仪器编号
2024CCB4
规格
CV-SP-1
生产厂家
大连齐维科技发展有限公司
型号
CV-SP-1
制造国家
中国
分类号
0306030201
出厂日期
2024-11-24
购置日期
2023-11-20
入网日期
2024-11-24
主要规格及技术指标

双真空腔，5个靶枪，真空度优于10-8 Torr，3个强磁靶枪，2个普通靶枪，直流溅射，RF溅射
主要功能及特色

无

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息