磁控溅射仪
磁控溅射仪
负责人员
王译, 宋东霖
存放地址
主校区厚坤楼（机械1号楼）A108()
联系电话
13091149391
送样
仪器编号
2024CCB4
规格
CV-SP-1
生产厂家
大连齐维科技发展有限公司
型号
CV-SP-1
制造国家
中国
分类号
0306030201
出厂日期
2026-04-03
购置日期
2023-11-20
入网日期
2024-11-24
主要规格及技术指标

双真空腔，5个靶枪，真空度优于10-8 Torr，3个强磁靶枪，2个普通靶枪，直流溅射，RF溅射
主要功能及特色

双真空腔，5个靶枪，真空度优于10-8 Torr，3个强磁靶枪，2个普通靶枪，直流溅射，RF溅射。

主要附件及配置

无
厚坤楼A108
校外：1500元/小时，校内：1300元/小时， 学院内：1000元/小时，课题组内：免费。 贵重材料计费另算。