团簇物理沉积系统
团簇物理沉积系统
负责人员
柳洪盛
存放地址
主校区厚望楼（机械2号楼）B102(B102)
联系电话
15140626153
仪器编号
2024D51D
规格
TRP450
生产厂家
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
型号
TRP450
制造国家
中国
分类号
0306030208
出厂日期
2024-12-18
购置日期
2024-11-15
入网日期
2024-12-18
主要规格及技术指标

极限真空度：溅射室不大于6.6x10-5Pa(经烘烤除气后)；极限真空度：进样室不大于6.6*10-4Pa(经烘烤除气后)片内膜厚均匀性：不大于正负百分之5；抽速：从大气开始抽气溅射室30分钟可达到6.6*10-4Pa。
主要功能及特色

无

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息