四通道/量热/粒度在线控制

多层膜控制：支持多层膜自动串接，层数可达112层。提供多层膜精确厚度计算法，突破单层算法精度限制。实时监测与控制：实时监测石英晶体频率变化，控制膜厚和沉积速率。提供在线晶振片的阻力损耗状态分析功能，解决速率过冲及初始负速率问题。自动化操作：自动完成多层膜的成膜过程，支持一键继续完成成膜（断电后恢复）。提供多种预熔阶段参数设置，优化成膜初始速率。用户友好界面：真彩色触摸屏，支持中、英文即时切换，并附有在线帮助。硬件参数界面配置，方便用户自定义设置。数据记录与分析：成膜层数据自动记录，方便回看成膜历史数据。

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