主要规格及技术指标
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加工范围直径0-350,行程300mm,直线度误差不大于0.1微米/100mm;最大进给速度20mm/s |
主要功能及特色
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应用于超精密线性轴几何误差测量研究及线性轴加减速运动机理分析,主要实现模拟超精密机床线性轴实际工作时的运动,进行超精密设备误差溯源及测量分析。可实现线性轴运动中的不同速度及加速度调节。 |
主要附件及配置
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无 |