射频感应耦合等离子体刻蚀实验台
射频感应耦合等离子体刻蚀实验台
负责人员
孙景毓, 林志冉
存放地址
主校区三束实验室1号楼101-1(101-1)
联系电话
15942872911
预约
仪器编号
2024D9C5
规格
CV-ICP
生产厂家
大连齐维科技发展有限公司
型号
CV-ICP
制造国家
中国
分类号
0306185006
出厂日期
2026-04-03
购置日期
2024-11-15
入网日期
2024-12-27
主要规格及技术指标

电极尺寸直径300mm；线圈频率13.56 MHz 3 kW；偏压频率400 kHz 1.5 kW
主要功能及特色

电极尺寸直径300mm；线圈频率13.56 MHz 3 kW；偏压频率400 kHz 1.5 kW

主要附件及配置

无
三束实验室1号楼101-1
校外委托测试：700元/小时；校内开放预约：630元/小时；学院内开放预约：420元/小时；课题组内：免费。