射频感应耦合等离子体刻蚀实验台
射频感应耦合等离子体刻蚀实验台
负责人员
孙景毓
存放地址
主校区三束实验室1号楼101-1(101-1)
联系电话
15942872911
仪器编号
2024D9C5
规格
CV-ICP
生产厂家
大连齐维科技发展有限公司
型号
CV-ICP
制造国家
中国
分类号
0306185006
出厂日期
2024-12-27
购置日期
2024-11-15
入网日期
2024-12-27
主要规格及技术指标

电极尺寸直径300mm；线圈频率13.56 MHz 3 kW；偏压频率400 kHz 1.5 kW
主要功能及特色

无

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息