射频容性耦合等离子体刻蚀实验台
射频容性耦合等离子体刻蚀实验台
负责人员
刘永新
存放地址
主校区三束实验室1号楼101(101)
联系电话
13795116417
仪器编号
2024D8C6
规格
CV-CCP
生产厂家
大连齐维科技发展有限公司
型号
CV-CCP
制造国家
中国
分类号
03140205
出厂日期
2024-12-27
购置日期
2024-11-15
入网日期
2024-12-27
主要规格及技术指标

下电极可由多种频率(包括60MHZ\13.56MHz\400KHz等)射频电源激励,电极直径200mm;上电极接地,采用“淋喷头”式均匀进气,配4种以上工艺气体进气系统;等离子体工作气压在10mTorr至1Torr 之间。

主要功能及特色

主要附件及配置

暂无关联门禁
暂无收费信息