主要规格及技术指标
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下电极可由多种频率(包括60MHZ\13.56MHz\400KHz等)射频电源激励,电极直径200mm;上电极接地,采用“淋喷头”式均匀进气,配4种以上工艺气体进气系统;等离子体工作气压在10mTorr至1Torr 之间。 |
主要功能及特色
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无 |
主要附件及配置
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无 |