温控系统温度范围：10K~450K;
六个探针臂X-Y-Z 3轴行程不小于50mm-50mm-25mm;
视频显微系统分辨率1920*1080，帧率60fps
直流信号电流测量最小分辨率≤0.02fA；直流信号电压输出分辨率≤6μV；
多通道混合信号采集分析模组最高实施采样率50GS/s，模拟带宽所有通道不小于10GHz；
芯片辐射性测试系统频率范围3Hz~9GHz；
高速记录装置200MS/s采样率；
环境试验装置内箱尺寸500mm(W)×600mm(H)×500mm(D)，温度范围-70℃~150℃

测量器件、芯片、系统在极低温度下电学参数

混合示波器MSO66，高速数据记录仪MR6000，电磁兼容EMI测试仪4082E，半导体综合测试仪4200A，显微镜BX53M，高低温试验箱HHB150