主要规格及技术指标
|
3站,10E-7~10E-9,分析范围1.3 x 10-9 至 1.0 P/P0,专有伺服进气和排气控制,4级膜片低真空泵,6个吸附气体进口,3个原位脱气口,另有6个配备 SmartVac Prep的脱气口 |
主要功能及特色
|
材料微孔、介孔分析 |
主要附件及配置
|
无 |