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主要规格及技术指标
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3站,10E-7~10E-9,分析范围1.3 x 10-9 至 1.0 P/P0,专有伺服进气和排气控制,4级膜片低真空泵,6个吸附气体进口,3个原位脱气口,另有6个配备 SmartVac Prep的脱气口 |
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主要功能及特色
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材料微孔、介孔分析 |
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主要附件及配置
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分析站模块:独立分析系统,支持微孔、介孔、大孔全孔径分析,可同时开展 3 个样品测试,配备高精度真空控制系统与压力传感器。 |