1、配备高真空模式二次电子检测器、低真空模式气体二次电子探头、环境真空模式气体二次电子探头、定向背散射电子检测器及GAD探测器等；2、二次电子分辨率：高真空模式1.0 nm (30 kV), 低真空模式 1.3 nm (30 kV), 环境真空模式1.3 nm (30 kV)；3、加速电压 0.2 kV~30 kV，放大倍数X6~X2500000；4、配备Oxford UltimMax40 EDS探头和Symmetry S3 EBSD探头；5、安装原位帕尔帖冷台、原位力学台。

1、具有环境真空模式（ESEM），低真空和环境真空技术可针对不导电和/或含水样品直接成像和分析，样品表面无荷电累积；2、安装原位帕尔帖冷台，可在-50 °C 到 100 °C 温度范围内进行原位分析；3、安装Kammrath Weiss 5 kN原位力学台，可实现最大载荷5000 N、最高加热温度1200 °C原位拉伸测试。

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