1、电子发射源:肖特基(Schottky)型热场发射电子源；2、二次电子像分辨率(SE)<0.9 nm(15 kV)，≤1.2 nm(1 kV)；3、背散射电子像分辨率(BSE)≤2.0 nm(30 kV)；4、加速电压 0.05-30 kV，束流强度5 pA~400 nA，放大倍数X2~X2000000；5、配备拉曼扫描一体化系统。

1、实现拉曼图像与电镜图像原位叠加；2、电镜内共聚焦拉曼成像空间分辨率：XY方向 < 500 nm(532 nm激光)，Z方向 ≤ 1500 nm (532 nm激光)，可以实现电镜内共聚焦拉曼2D和3D成像；3、532 nm单纵膜激光器，激光功率 > 75 mW；4、633 nm 固体激光器激光功率 > 50 mW。

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