"肖特基(Schottky)型热场发射电子源，采用 TriLens 三物镜设计，可提供超高分辨模式，无漏磁分析模式和电子東无交叉模式;二次电子像分辨率(SE)≤0.6nm(15kV)，0.9nm(1kV);4)背散射电子像分辨率(BSE)≤1.6nm(15kV)；5)扫描透射分辨率(STEM)≤0.5nm(30kV)；加速电压:调整范围:0.05-30kV,调整步长≤100V;束流强度可至2pA to400nA;8)放大倍数范围: 5-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调;9)扫描速度20ns-10ms/pixel多档可选，可实现全帧、选区、定点、线扫描;离子束技术参数
1)离子源种类:液态金属Ga离子源；离子本图像分辨率:<2.5nm@ 30kV(东流交叉点位置)3)加速电压:0.5kV-30kV或更宽，连续可调；样品室内红外CCD相机，分辨率不小于720x540；飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)；质谱分辨率≥800；质谱检出限≤3ppm；空间分辨率水平方向≤40nm；空间分辨率垂直方向≤3nm。"

主要功能有 TEM 及 APT 高质量定点制样、高精度微纳加工等，可实现FIB-TOF-SIMS 联用

无