主要规格及技术指标
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1.可实现磁控离子溅射和热蒸镀两种真空沉积镀膜;2.溅射电流:0-150mA连续可调;3.溅射时间:一次真空条件下1-3600秒连续可调;4.蒸发电流:1-70安培,直流; |
主要功能及特色
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金属溅射镀膜;蒸发镀膜 |
主要附件及配置
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无 |