曲面原子层沉积装置
曲面原子层沉积装置
负责人员
刘毅
存放地址
主校区知顺楼（新校区化工实验楼）C411(C411)
联系电话
18842873025
仪器编号
20250609
规格
FH-2
生产厂家
吉水中兵近代科技有限公司
型号
FH-2
制造国家
中国
分类号
0306030701
出厂日期
2025-03-29
购置日期
2024-11-14
入网日期
2025-03-29
主要规格及技术指标

6KW/220V
主要功能及特色

主要用于各类粉体材料样品的制备，也可兼容常规的平面基底表面ALD薄膜沉积功能，特别适用于高长径比管件的内壁或外壁表面ALD薄膜沉积‌
适用于半导体与集成电路、平板显示、太阳能电池、纳米材料、催化剂、防腐蚀保护层、薄膜分离、清洁与可再生能源、生物与医疗、特种材料表面改性、空间器件表面防辐射等领域‌
主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息