超高真空磁控溅射系统
超高真空磁控溅射系统
负责人员
周大雨
存放地址
主校区-三束实验室4号楼（出版社楼）-412
联系电话
15998403929
仪器编号
2024CF4C
规格
SKY-5602
生产厂家
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
型号
SKY-5602
制造国家
中国
分类号
0306030201
出厂日期
2025-04-22
购置日期
2023-12-04
入网日期
2025-04-22
主要规格及技术指标

超高真空多室磁控磁控联合沉积系统，由沉积系统A、沉积系统B和进样室组成，通过手动传递杆实现样品在各个 腔室之间的传递；极限真空度：≤6.6x10-6 Pa (经烘烤除气后)；停泵关机 12 小时后真空度：≤1Pa；
主要功能及特色

具备射频反溅射清洗功能，可进行共溅射。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息