"1质量范围：7~238 amu
2灵敏度（总离子流峰高）＞1×1010cps，1.6×10-9 A，铜样品，中分辨（R≥4000）
3二次电子倍增器暗流：≤0.5 cps
4动态范围: >1012 线性范围, 增益自动交叉校准
5质量分辨率（10%峰谷）：3个固定分辨率，LR≥300，MR≥4000，HR≥10000，计算机自动切换，切换时间≤ 1 s；
6检测器最小积分时间：计数模式≤0.1 ms，模拟模式≤1 ms，法拉第杯≤1 ms；
7分辨率切换时间：<1 s；
8质量稳定性：25 ppm/8小时，不会因分辨率变化而变化；
9扫描速度(磁场)：<150 ms从m/z7到238到7；
10扫描速度(电场)：1 ms/跳峰，与质量范围无关；
11丰度灵敏度：用Cu基体，分辨率>4000,测量63Cu在m-1（及m/z=62）处的背景信号，所得丰度灵敏度<20 ppb；
12不同基体样品测试切换：3种基体样品/8小时（如：5N Cu、Ni、Si，无交叉污染）；
13内部重复性：测定一个主量成份(大约10-50%)，一个次量成份(大约0.1%)，一个痕量成份（大约0.01-1ppm），对载入的样品连续重复10次测定，计算相对标准偏差（RSD）：主量成份 < 3%RSD，次量成份 < 5%RSD，痕量成份 <10%RSD；
14外部重复性：对同一样品重复测量，每次测量均应包含测量条件的选择和样品载入的全过程。重复10次测定，计算相对标准偏差（RSD）：主量成份 < 5% RSD，次量成份 < 10%RSD，痕量成份 <20%RSD。"

辉光放电质谱仪用于测量高纯金属中微量元素和痕量元素的含量，可以固体直接进样检测，还可以进行固体样品的深度元素分布分析。例如：在微电子行业分析铜、铝、溅射靶材料中痕量元素的含量；在航空宇宙行业分析铝、不锈钢、合金；在医药食品行业分析不锈钢、合金；在核工业企业分析铀、核燃料；太阳能级硅材料的分析等。

无