1. 分析用Bi离子源：
（1）加速电压：30 keV；
（2）离子束流：＞40 nA；
2. G-SIMS分析：有助于有机大分子判定；
3. 剥离用EI离子源、剥离用Cs离子源、Ar离子团簇分析离子源；
4. 质量分析器：非线性反射式质量分析器，具有3米飞行路径；质量范围：1～12000amu以上；质量精度：< 1 mu for m< 100 u; < 10 ppm for m > 100 u；
5. Orbitrap附件： 质量分辨率 （200u）> 240,000，质量范围：50 u – 6000 u；
6. FIB附件：Ga团簇离子，离子束电压：15 – 30 kV；
7. EDR Analyzer：线性响应范围内最大计数率 > 1×107 次/秒；
8.加热制冷附件：-150℃～600℃。

可获得表面、浅层、界面处的元素和分子的二维和三维信息，适用于半导体、高分析、生物、储能、金属、矿物等多种材料类型，可以精确确定表面元素的构成、表面化合物和有机样品的结构并得到样品表面甚至三维的成分图，实现全元素成分分析，包括表面痕量金属的检测、工艺过程的有机污染、超浅层深度剖析、超薄介电层分析、金属材料的表面成像以及三维分析、生物膜的测试、植物组织中的养分分析、截面成像等。

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