1. Cu靶 9kW；
2. 测角仪半径：300mm;
3. 多维半导体面探测器：探测器面积：77.5mm × 38.5mm
4. 微区测试系统，XY-4英寸样品台（X,Y±50mm）光斑直径0.1mm；
5. 五轴样品台Standard χ cradle；
6. IN-PLANE附件：可以同时进行面外扫描（OUT of PLANE）及面内扫描（IN-PLANE）测试。

适合纳米级薄膜样品测试，可进行面内、面外扫描和XRR反射率测试，摇摆曲线、倒易空间等单晶外延膜高分辨测试；配有大五轴样品台，可放置多个样品进行织构分析。

1. 多维半导体面探测器；
2. 五轴样品台Standard χ cradle
：χ轴：-5°～95°（最小幅度：0.001°），X轴：-50mm～50mm（最小幅度：0.0005mm）
，Y軸：-50mm～50mm（最小幅度：0.0005mm）
，Z轴：-4mm～1mm（最小幅度：0.0005mm）
， φ轴：±360°（最小幅度：0.002°）
3. IN-PLANE附件
4. CBO-u附件：可进行微区测试