1. X射线源：Al/Ag双阳极；
2. 最佳电子能谱能量分辨（Ag 3d5/2）：优于0.43eV；
3. 最佳化学状态成像空间分辨（快速平行成像，锐利刀口）：优于1μm；
4. 常规XPS分析（Ag 3d5/2）：0.6eV@2.5Mcps；
5. 深度剖析离子源：多模式Ar/Ar团簇，最高加速电压20kV，最大团簇3000Ar；
6. 附件: 紫外光电子能谱；离子散射谱套件；真空样品转移仓；高温催化反应池（10bar，室温~1000℃；20bar ，室温~800℃；30bar，室温~300℃）；加热制冷（-100~800℃）附件；原位光催化附件。

1. 可对有机高分子材料、金属材料、无机化合物和复合材料以及其他固体材料的表面10nm深度范围内进行元素及其化学状态、价带电子态分析；
2. 结合离子刻蚀技术可实现表面元素及其化学状态的纵深方向分布分析；
3. 具备光电子平行成像功能，可实现表面元素及其化学状态的二维分布分析。

1. 紫外光电子能谱；
2. 离子散射谱套件；
3. 真空样品转移仓；
4. 高温催化反应池（10bar，室温~1000℃；20bar ，室温~800℃；30bar，室温~300℃）；
5. 加热制冷（-100~800℃）附件；
6. 原位光催化附件。