1）二次电子像分辨率：≤ 3 nm(加速电压30 kV)； 2）背散射电子像分辨率：成分分辨足以清晰分辨α/β黄铜；3）电子枪：肖特基场发射体；4）加速电压：0.5～30 kV；5）最大束流：3 μA；6）束流稳定度： ±0.3%/h (50 nA@10 kV)；7）图像放大倍数：40倍～400,000倍；8）光学显微镜分辨率：≤1μm；9）分析元素：4Be～92U；10）波谱仪道数：5道；11）分光晶体：全聚焦型晶体；12）能谱仪：牛津仪器实时能谱仪UltimMax65。13）最大分析范围：90mm×90mm

本仪器具有波谱（WDS）与能谱（EDS）两大功能模块。通过聚集的很细的电子束照射到样品表面上，对样品产生的特征X射线进行分光并测量其强度，从而对微区范围内的元素成分（4Be ~ 92U）、样品表面元素浓度分布进行定性、定量、分析。同时具备样品元素成分的点扫、线扫、面扫分析及扫描电镜SEM的所有功能。

1.电子光学系统
2.波谱系统：5道谱仪，每道2个全聚焦型晶体
3.光学显微镜系统
4.样品台系统
5.真空系统
6.电子探测器
7.计算机系统
8.软件程序
9.分析标样：国标委标样157个
10.能谱仪：牛津仪器实时能谱仪UltimMax65