二次电子分辨率：≤3nm（加速电压30 kV）；≤20nm（10kV@10nA）；≤50nm（10kV@100nA）；≤150nm（10kV@1000nA）。
最大束流：3μA。物镜光阑：固定光阑，电流切换时无需更换光阑和合轴。图像放大倍数：40倍～400,000倍（WD = 6.35mm），连续可调。
波谱系统：5道谱仪，可分析元素4Be - 92U，X射线出射角52.5°，罗兰圆半径统一4英寸（101.6 mm）。
样品台大小：100mm×100mm×50mm；最大分析范围：90mm×90mm。多种国标委分析标样和牛津实时能谱仪UltimMax40。

可在真空状态下， 观察物体微观形貌、开展元素定性分析。
搭配国标委分析标样，实现点、线、面的元素定量分析。

无