分辨率：30 kV，1.2 nm； 1 kV，3.0 nm；
放大倍率：10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

场发射扫描电子显微镜通常用于观察各类固体材料的表面微观形貌,通过与能谱仪相结合可对微区成分进行定性和定量分析。具有高分辨率的阴极荧光分辨能力，并可与光学显微镜进行光电联用。

EDS
参数：分辨率‌优于123eV（MnKα） ‌‌
稳定性‌：特定计数率下漂移小于1eV ‌‌ ‌‌
计数率‌：最高可达1,000,000 cps ‌‌
探测器面积‌：40mm²