1. 加速电压：0.1keV - 10 keV，步进0.1keV；
2. 离子束斑尺寸：≥500μm-3mm可连续调节；
3. 离子束束流密度：≥ 10 mA/cm2；
4. 离子枪角度调节范围：≥ -15°- +10°连续可调；
5. 两级真空系统无油机械泵和不低于80L/s涡轮分子泵，可达到10-4Pa；
6. 能够水平360度连续旋转，精度1度，转速1~6 rpm可调，可进行任意角度摇摆，减小离子束减薄时带来的窗帘效应；
7. 配备液氮冷台及控温系统，温度调节范围 -170℃-室温连续可调，一次加注可持续制冷≥ 18小时，去除离子研磨时高温对样品的破坏，冷台具有可程序控制快速加热回温功能。

1. 用于陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜样品的制备。通过与打孔机、凹坑仪等设备的配合使用，能够形成大面积清洁薄区，从而满足高质量透射电镜样品制备的需求；
2. 配备液氮冷台，可实现低温制备样品。

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