原子层沉积设备
原子层沉积设备
负责人员
陈鹏忠
存放地址
主校区知化楼（化工综合楼）B103（104）()
联系电话
18624375672
仪器编号
2025A028
规格
Savannah S200
生产厂家
美国VEECO
型号
Savannah S200
制造国家
美国
分类号
0406081202
出厂日期
2025-12-13
购置日期
2024-05-14
入网日期
2025-12-13
主要规格及技术指标

最大基片尺寸 200 mm、最高基片温度 RT–350℃、沉积均匀性 <1%、循环时间 <2 s/cycle、前驱体通道 2路标准最多6路。

主要功能及特色

用于制备高质量薄膜，具有均匀性好、台阶覆盖率高、厚度可控等优点，适用于半导体、光学、储能等领域

主要附件及配置

多个前驱体源、等离子体源、原位监测系统、样品传输系统
暂无关联门禁
暂无收费信息