波长范围：190-885 nm；角度范围：45-90°；测量精度：椭偏参数Ψ测量精度±0.01°，相位差Δ测量精度±0.01°；重复性：厚度±0.1%，折射率±0.0001；膜厚范围：1 Å-50 μm；光斑尺寸：0.05-1 mm；样品台：150 mm手动或200×200 mm/300×300 mm自动平台；检测系统：高分辨单色仪+高灵敏探测器；软件：DeltaPsi2。

用于测量薄膜的厚度、折射率、消光系数等光学参数，适用于半导体、光学薄膜、生物材料等领域

自动样品台、软件分析系统