测量原理：光散射法；光源：半导体激光器，波长830 nm，额定输出200 mW；粒径范围：0.15-0.5 μm；粒径通道：4通道（出厂默认：≥0.15 μm、≥0.2 μm、≥0.3 μm、≥0.5 μm），可在0.15-0.5 μm范围内设定最多10级；流量范围：10 mL/min；最大粒子浓度：1200 particles/mL

用于液体中颗粒污染监测，适用于光刻胶、SOG及其他液体样品中微小颗粒的检测与计数，特别适合0.15 μm颗粒监测，具有灵敏度高、可多通道检测、适用于在线/离线监测等特点。

多种样品池、温控系统、自动稀释装置、超声分散装置