电压范围：0.2 μV-210 V；电流范围：10 aA-1 A；电容测试频率范围：1 kHz-10 MHz；C-V偏压范围：±30 V；脉冲输出范围：±40 V，±800 mA；采样速率：200 MSa/s；最小采样时间：5 ns；测试类型：DC I-V、C-V、超快速脉冲 I-V

用于半导体材料与器件的电学性能表征，可开展器件电流-电压（I-V）测试、电压参数测试、电容-电压（C-V）测试、脉冲特性测试及相关数据分析。设备集成源测量、C-V测试、脉冲测试、显微观察、探针测试、屏蔽及真空辅助等功能，可满足半导体器件、薄膜材料、微纳电子器件及传感器等样品的精密电学测试需求，具有测试功能全面、测试精度高、适用样品类型广、扩展性强等特点。

探针测试治具、真空气路、显微镜、屏蔽箱、机械泵系统等