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主要规格及技术指标
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洁净度:100级、1000级、10000级;温度控制:22±2℃;湿度控制:50±5%;风速:0.3-0.5m/s |
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主要功能及特色
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提供不同洁净度的实验环境,用于微电子器件、生物芯片、光学元件等精密产品的制备和测试 |
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主要附件及配置
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风淋室、传递窗、FFU过滤系统、温湿度监控系统、防静电地板 |