"1 样品仓大小：硼硅酸盐玻璃工作腔室，100mm（内径）x 125mm（高）；
2 靶面至样品台距离：可调范围为20-50mm，
3 溅射电流：0-40mA
4 溅射时间：0~999s
5 溅射速率：（在压力为7Pa,放电电流40mA，靶材距离样品30mm时）Pt为
15nm/min，Pt-Pd为20nm/min，Au为35nm/min，Au-Pd为25nm/min
6 最大样品尺寸：直径60mm，高度20mm
7 靶材：根据需要，可选配Au，Pt，Au-Pd，Pt-Pd
8 真空系统：机械泵，转速为135L/min
9 主机尺寸和重量：450mm×391mm×390mm，主机重25kg。"

具有全自动抽真空和全自动操作的沉积镀膜系统，可用于扫描电镜（SEM）样品镀制导电膜。

主机一套，标配Pt靶材