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主要规格及技术指标
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测温范围:室温~500℃ |
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主要功能及特色
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构建空间分辨率微米级温度测量平台,用于集成电路芯片、微纳传感芯片、细胞分辨率生物成像、医疗电子产品温度测量、热异常区域定位, 以及为建立相关器件热仿真软件模型提供实测数据支撑。 |
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主要附件及配置
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中波红外热像主机1台;标准镜头1个; 5微米显微镜头1个; 2微米显微镜头1个;Z轴电动位移台1个;XY电动位移载片台1个;探针座4个及铍铜探针4个;CCD对位显微镜1个;恒温台1个;专用数据采集计算机1台; |