匀胶机
匀胶机
负责人员
尹鹏和, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼（机械2号楼）117
联系电话
15841166916
送样
仪器编号
20700928
规格
Delta80T
生产厂家
SUSS MICRO TEC LITHOGRAPHY GMB
型号
Delta80T
制造国家
德国
分类号
05080127
出厂日期
2026-04-29
购置日期
2007-03-07
入网日期
2026-04-29
主要规格及技术指标

转速范围：0～7000rpm，加速度范围：20～5000rpm/s，单步时间：0～999.9s，匀胶均匀性：±2%（4inch硅片，100nm氧化层，1μm胶厚）。

主要功能及特色

控制系统可存储20条匀胶工艺程序，每条工艺程序最多可分成29个不同转速、加速度以及时间的工艺步骤。

主要附件及配置

无
厚望楼117
暂无收费标准