X/Y/Z行程：250mm*150mm*50mm
1. 纳米压痕模块：最大载荷10mN，载荷分辨率不高于1nN，最大位移不小于5um，位移分辨率不高于0.006nm。
2. 纳米划痕模块：最大横向载荷力2mN，最大横向位移15um，横向载荷分辨率不高于50nN。
3. 高载纳米压痕模块：最大载荷不高于2N，载荷分辨率不高于0.28um，最大位移不小于80um，位移分辨率不高于0.01nm。
4. 原位扫描成像模块：扫描频率0.01 Hz-3.0 HZ，扫描分辨率4096*4096，扫描范围不超过60um*60um。
5. 动态力学测试：频率范围0.1 Hz-300 Hz，最大动态振幅力5 mN，最大准静态力10mN，最大动态振幅2.5 um，最大准静态位移5 um。
6. 高温模块：室温~800℃，温度分辨率0.1℃，最大载荷10mN，可做压痕、动态力学、XPM和原位成像。
7. XPM快速压痕：最大载荷10mN，最大测试范围75um*75um。

设备可以在微纳米尺度上进行材料力学性能测试和表征，用于金属材料、聚合物材料、无机非金属材料、膜材料及复合材料等的纳米压/划痕等力学特性测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、屈服、粘结失效、断裂韧性、应力松弛、疲劳等性能。

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