一、电镜参数
1、样品最大尺寸：φ50mm×30mm（H）
2、分辨率:0.6nm@15kV；0.8nm@1kV
3、加速电压:0.1-30kV
4、EDS元素分析范围:Be4~Cf98
二、原子力参数
1、样品最大尺寸：φ100mmx20mm(H)
2、扫描范围:200 umx200 umx15 um
3、RMS噪声水平:≤0.04 nm
4、马达台移动范围:XY≥100mm,Z≥21mm
三、联用参数
1、SEM-AFM联用对中精度:±10μm
2、联用样品最大尺寸：φ20mmx9mm(H)

可实现亚纳米级别高分辨率的成像技术，在高探针电流条件下提供快速成像，在低电压条件下仍能提供出色分辨率，配备有EDS，可进行微区成分进行定性和半定量分析，并拥有SEM-AFM联用系统，通过共享坐标样品台功能，可对同一位置实现超高分辨形貌、元素分布、力学及电磁学测试分析。

配备牛津EDS