曲面面型测量仪-非球面-轻微自由曲面-锥透镜-衍射面-600mm大口径
曲面面型测量仪-非球面-轻微自由曲面-锥透镜-衍射面-600mm大口径
负责人员
司立坤, 金雅明, 张广翔
存放地址
英歌石1号楼101()
联系电话
13591117028
仪器编号
20269CE0
规格
LuphoScan 600HD
生产厂家
泰勒霍普森
型号
LuphoScan 600HD
制造国家
英国
分类号
03041112
出厂日期
2026-09-01
购置日期
2026-06-16
入网日期
2026-08-13
主要规格及技术指标

1.测量口径:直径小于等于600mm
2.最大承重:100kg
3.最大SAG高度:凸面160mm、凹面-80mm
4.最大倾角:90度
5.PV精度:全量程范围内小于等于100nm
6.纵向分辨率:0.05nm
7.RMS精度:球面5nm、非球面15nm
8.半径测量精度:优于10-5(25mm标定球)

主要功能及特色

设备基于多波长干涉技术,实现快速非接触式自动测量,包括抛光阶段及以后的光学非球面、平面、轻微自由曲面、锥透镜、环形透镜、局部透镜、衍射面等面形测量。应用于高端基础件制造、汽车、航空航天等领域非球面光学元件、超精密加工精度及产品评估。

主要附件及配置

无

暂无关联门禁
接受送样测试和自主上机:在QQ通知群(群号:1020775492,加群请备注学院-导师-姓名-年级硕/博)中下载送样单并填写,测样时间等待电话通知。自主上机:在系统中提交培训申请,培训通过后方可自主上机。
样品要求:抛光阶段的光学元件/超精密磨削零件,需要提供理论公式(非球面参数、SAG表等),高度低于65mm的样品需要自备固定夹具。
校外用户:常规测试:样品尺寸<400mm,1500元/件;样品尺寸≥400mm,3000元/件。大批量、特殊检测一事一议。
校内用户:1、送样测试:样品尺寸<400mm,750元/件;样品尺寸≥400mm,1500元/件。2.自主上机:按照300元/小时。