六自由度并联精密定位平台，主动轴：X、Y、Z、θX、θY、θZ；X/Y/Z行程分别为±17 mm、±16 mm、±6.5 mm，θX/θY/θZ转角范围分别为±10°、±10°、±21°；X/Y/Z最大速度均为20 mm/s，推荐速度10 mm/s；θX/θY/θZ最大角速度500 mrad/s，推荐角速度240 mrad/s。最小增量位移：X/Y 0.04 μm、Z 0.02 μm，θX/θY 0.5 μrad、θZ 0.75 μrad；单向重复定位精度：X/Y ±0.2 μm、Z ±0.1 μm，θX/θY ±2 μrad、θZ ±3 μrad。水平安装最大负载2.5 kg，任意安装方向最大负载1 kg；整机质量约2.3 kg；工作温度0～40 ℃。

具备X、Y、Z三个直线自由度及θX、θY、θZ三个旋转自由度的六轴高精度定位功能。采用并联运动学结构和无刷直流电机，结构紧凑、刚度高、动态性能好，可实现亚微米级精密定位，适用于主动对准、光子学、精密装配及高循环次数自动化应用。支持PIVirtualMove运动仿真，可对运动范围、姿态以及允许力和力矩进行模拟，并考虑旋转中心及负载重心，有助于避免运动干涉并保护精密光学/光子器件。

推荐控制器：PI C-887.5x（BISS通信）；设备自带0.5 m固定线缆；数据接口：HD D-sub 78针公头，供电接口：M12 4针公头。可配套使用PI控制器软件及PIVirtualMove运动仿真软件。