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主要规格及技术指标
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微观部分: |
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主要功能及特色
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采用激光共聚焦原理,可开展表面形貌测量、膜厚测量、面积/体积评估、线面粗糙度测量、轮廓分析 |
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主要附件及配置
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无 |