三维形貌扫描测量系统-共聚焦显微-超景深显微镜-500mm大尺寸
三维形貌扫描测量系统-共聚焦显微-超景深显微镜-500mm大尺寸
负责人员
司立坤, 金雅明, 张广翔
存放地址
英歌石1号楼101()
联系电话
13591117028
预约 送样
仪器编号
20269776
规格
DSX2000CT
生产厂家
仪景通
型号
DSX2000CT
制造国家
日本
分类号
03040152
出厂日期
2026-09-01
购置日期
2026-05-21
入网日期
2026-07-24
主要规格及技术指标

一、微观模块（共聚焦）
1、XY平台行程： 600x600mm
2、最大承重：12kg
3、物镜：2.5X、5X、10X、20X、20X长焦、50X、100X
4、Z向扫描行程：10mm
5、样品高度：不大于150mm
6、分辨率：水平120nm，高度6nm
7、测量重复性：宽度20nm，高度12nm
二、宏观模块（超景深）
1、XY平台行程： 300x300mm
2、最大承重：5kg
3、物镜：1X、3X、5X、10X
4、Z向扫描行程：101mm
5、样品高度：不大于295mm
6、放大倍数：20.9-7307
7、镜头倾斜角度：左右正负90度
8、单张图像：8192x6000

主要功能及特色

设备包括微观和宏观两部分测量模块，基于激光共聚焦原理，可开展微宏观表面形貌、尺寸、指定区域面积/体积、线面粗糙度、透明膜厚等测量。主要用于材料、机械制造、冶金、精密光学等领域亚微米级形貌、表面粗糙度的观测，包括金属加工、半导体与微电子、摩擦磨损测试件定量分析、失效定性分析、复杂零件表面形貌。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
一、委托测试：
1、微观形貌、粗糙度及尺寸常规测试：
样品尺寸＜200mm：校外用户收费300元/件，校内用户收费200元/件；
200mm≤样品尺寸＜400mm：校外用户收费500元/件，校内用户收费400元/件；
样品尺寸≥400m：校外用户收费1000元/件，校内用户收费800元/件。
2.宏观形貌、景深图、尺寸测试：
300元一件（5个部位以内），同一个样件，超过5个以上的元素按60元/部位增量计价，每个部位拼接不超过2*2；拼接、特殊需求，按照300元/小时计费。
二、自主上机（校内用户）
1、微观形貌、粗糙度及尺寸：200元/小时。
2、宏观形貌、景深图、尺寸测试：100元/小时。