三维形貌扫描测量系统-共聚焦显微-超景深显微镜-500mm大尺寸
三维形貌扫描测量系统-共聚焦显微-超景深显微镜-500mm大尺寸
负责人员
司立坤, 金雅明, 张广翔
存放地址
英歌石1号楼101()
联系电话
13591117028
仪器编号
20269776
规格
DSX2000CT
生产厂家
仪景通
型号
DSX2000CT
制造国家
日本
分类号
03040152
出厂日期
2026-09-01
购置日期
2026-05-21
入网日期
2026-07-24
主要规格及技术指标

微观部分:
行程:600mm×600mm
水平分辨率:120nm
高度分辨率:6nm
镜头:5X、10X、20X、50X、100X
高度测量重复性:12nm
宽度测量重复性:20nm

主要功能及特色

采用激光共聚焦原理,可开展表面形貌测量、膜厚测量、面积/体积评估、线面粗糙度测量、轮廓分析

主要附件及配置

暂无关联门禁
暂无收费标准