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                             主要规格及技术指标 
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                             日本进口设备,规格型号VPC-1100,真空度可达10-5帕,有三个靶位。  | 
                    
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                             主要功能及特色 
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                             可电子束蒸镀金、镍、二氧化硅等  | 
                    
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                             主要附件及配置 
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                             主机腔体,机械泵,分子泵,真空测量仪,电源等  |