主要规格及技术指标
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最大测量电阻值:100Gohm/sq;测试台温度选项:常温,77K; |
主要功能及特色
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实现对半导体及其薄膜材料的电学特性测试,同时可通过液氮冷却系统达到对材料的变温测量。具有测试速度快,数据准确的特点。 |
主要附件及配置
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无 |