主要规格及技术指标
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真空度:6.6×10^-3Pa 电流:最大800A 电极:手动调整 坩埚:水冷铜座,ø300 |
主要功能及特色
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直流电弧等离子体蒸发阳极靶材制备纳米粒子以及纳米复合粒子 |
主要附件及配置
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机械泵,分子泵,电源 |