最大电流：200A，极限真空度2.0*10-3Pa，漏气率：从极限真空到1Pa≤0.5小时，工作周期：从大气抽到6.7*10-3Pa≤40分钟，冷却水温25°C

本设备是采用真空技术生成并收集纳米级别粉体的专用设备。由于具有多个独立生成室，故可一机多用，可同时生成、收集不同材料粉体，包括各种金属粉体、合金粉体、陶瓷类粉体等。

1. 真空控制与监测系统（真空泵、压力传感器、真空监控软件和显示器等）
2. 钝化系统
3. 安全封存系统（真空封存装置、安全监测传感器、防爆装置等）
4. 质量检测系统（粒径分析仪、流动性测试仪等）