主要规格及技术指标
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最高温度:2300℃ |
主要功能及特色
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使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。 |
主要附件及配置
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成套设备采用立式上开盖结构形式,由真空腔室、真空系统、充气系统、加热系统、测控温系统、循环水系统、电气控制系统等组成。 |