‌操作系统‌：PC Windows操作系统，触摸屏操作界面‌
‌温度控制‌：
蒸发室温度：室温~180℃，调整增量为1℃
裂解室温度：室温~720℃，调整增量为1℃
沉积室压力：本底~100mT，调整增量为1 mT‌
‌真空度‌：空载真空度优于0.5Pa‌
沉积速率和厚度‌：单次沉积膜厚0.1~75微米‌
‌其他功能‌：
沉积结束后设备报警并自动关闭所有加热部件
可设定所有参数的带宽和报警值
沉积报告及历史数据导出‌

‌主要功能‌：该系统主要用于真空沉积Parylene（派瑞林）作为柔型器件的基底和光电器件的封装层。适用于超轻超柔有机太阳能电池和柔性有机电化学晶体管等光电器件的制备‌
‌应用领域‌：适用于实验室研究、应用开发和测试，特别适用于电路板、传感器、晶圆、医疗器械、微机电系统和弹性体部件的涂敷‌

无