二次电子分辨率优于：4.0nm@20kV，15nm@1kV; 背散射电子分辨率优于：5.0nm@20kV（低真空）; 加速电压：0.3-20kV连续可调; 放大倍数：6-300000倍（底片倍数）; 电子图像位移：＞ ±50μm（WD=10mm）

观测固体样品（如粉末、高分子材料、金属材料、无机非金属材料等）在亚微米、纳米尺度的形状、尺度、表面形貌等

无