主要规格及技术指标
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高真空分辨率:3nm |
主要功能及特色
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通过电子束扫描获得样品表面高质量图像,有配套溅射仪,可用于不良导体样品表面的Au或Pt溅射,以增加样品导电性。 |
主要附件及配置
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无 |