主要规格及技术指标
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波长370-1000 nm、自动测量变角范围 45度-90度、对于 2nm的自然氧化硅片层30次测量的标准偏差为不大于0.003nm |
主要功能及特色
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主要检测薄膜厚度及光学常数 |
主要附件及配置
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液体池、QCM-D配套池、自动光路对准、Complete EASE测试分析软件 |