等离子体化学气相沉积
等离子体化学气相沉积
负责人员
陈莉, 徐征, 王天娆
存放地址
主校区机械学院2号楼（电信实验楼）111
联系电话
0411-84707713-8110/8112/2193
送样
仪器编号
21304165
规格
NGP80
生产厂家
牛津仪器公司
型号
NGP80
制造国家
英国
分类号
03060305
出厂日期
2013-07-17
购置日期
2013-07-17
入网日期
2020-07-21
主要规格及技术指标

样品尺寸：≤8 英寸
薄膜均匀性（4 inch）：＜±2%
薄膜应力：＜300MPa 压应力
击穿电压：＞5MV/cm

主要功能及特色

主要用于微纳加工中绝缘层的沉积，一般在小于等于8英寸的晶片上沉积SiO2和SiNx薄膜。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息