加速电压:200V~30kV；放大倍率:20×~50000×；最大像素：4096*3536；Spot：1.0~7.0；高真空:10-4 Pa。

本设备具备高真空、低真空和环境扫描模式下的表面形貌扫描功能。采用高真空模式时，可以对导电、干燥、洁净的样品进行高分辨的表面形貌成像。当采用低真空和环境扫描模式时，则具有以下特点：1.可以直接检测绝缘样品而不必在样品表面喷涂导电层，从而可以获得样品表面最真实的信息；2.可以检测含油、含水及其它易挥发样品，这在生物样品的检测分析中具有非常重要的实用意义；3.利用配套的低温制冷装置，可以对样品进行动态检测。

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