高载传感器：（1）压痕最大载荷＜10 N；载荷分辨率≤1.4 μN；载荷噪音背景≤ 70 μN；最大位移≥80 μm；位移分辨率≤0.01 nm；位移噪音背景＜0.5 nm（2）划痕最大横向载荷力5 N；横向载荷分辨率≤0.7 μN；横向载荷噪声背景＜40 μN；最大横向位移150 mm；横向位移噪音背景0.5 nm；横向位移分辨率0.02 nm。低载传感器：频率范围0.1Hz-300Hz；最大动态振幅力5mN；最大准静态力10mN；最大动态振幅2.5μm；最大准静态位移5μm；位移噪声层<0.2nm；纳米压痕速率最快 6 点/秒。

可实现材料的微米级别的压痕和划痕测试。NanoDMA® III电容传感器能提升动态特性和动态测试范围(0.1Hz to 300Hz) 。快速压痕功能以每秒六个点快速压痕测试样品并作阵列成像可以利用短时间内产生大数据，并利用统计分析材料均匀性缺陷或成份比例等力学性质分布，此功能还可以用于大面积分布而连结微观力学性质与宏观的分布。最新建立的 CMX 算法，能提供真正的连续硬度测量、储存模量、损耗模量、介质损耗因子 tanδ 等相对应测试的接触深度、频率和时间。结合 AC 和 DC 力度调节，使纳米动态特征从起初表面接触更可靠和量化，原位漂移补偿功能让较长的测试周期准确性增大，如蠕变测试。可以进行任何组合的恒定频率、可变频率/频率扫描 ，梯度加载，恒定应变速率测试。

无