薄膜沉积系统
薄膜沉积系统
负责人员
张溪, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼（机械学院2号楼）116
联系电话
0411-84707713-8103/8112
送样
仪器编号
20913139
规格
LAB18
生产厂家
Kurt J,Lesker Company
型号
LAB18
制造国家
美国
分类号
03060307
出厂日期
2009-11-13
购置日期
2009-11-13
入网日期
2020-07-24
主要规格及技术指标

磁控溅射镀膜设备。一次最大可以加工1片6英寸样品，样品台可以旋转。

主要功能及特色

能够溅射沉积多种金属和非金属材料。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息