Turbo X射线源：阳极材料：Cu
电压：40KV/40mA
探测器：LynxEye Position Sensitive Detector (PSD)、PathFinder Detector
样品台：五轴尤拉环样品台（x,y,z,Phi,Psi）
光路：可用于外延薄膜的高分辨率平行光束几何，配备Göbel镜、双晶单色器。

薄膜、单晶等块体材料的常规结构分析，包括：耦合扫描（θ-2θ）、摇摆曲线（Rocking curve）、对称性外延测量（phi-scan）、略入射（GID）等。
薄膜、单晶等块体材料的特殊结构分析，包括：X射线反射（XRR，拟合膜厚/粗糙度/密度）、倒易空间图谱测量（RSM）、非对称面衍射测量等。

无